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真空镀膜设备结构和原理
2019-09-11
真空电镀加工系统由机械泵、分散泵、油增压泵、增扩泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。依据工艺要求挑选镀制方法,如电阻蒸腾,磁控源以靶材材质及尺度多弧源,真空计量可挑选数字式智能真空计及其优质的计量规
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